2014-09-03
 

201493日,臺灣新竹訊,電子時報,陳妏茹  半導體測試系統與探針卡領導廠商思達科技今日宣布,推出針對3D IC製程驗證與量產開發的思達雙子星系列自動測試設備(STAr Gemini Series Automatic Test EquipmentATE)。此系列整合式自動測試設備,可滿足針對參數監控、可靠度驗證與良裸晶粒(Known Good Die KGD)測試的3D IC整合性測試需求。

思達雙子星自動測試設備,廣泛涵蓋3D IC系統封裝的基材與製程,如直通矽晶穿孔(Through Silicon ViaTSV)、矽中介層(Silicon Interposer)、銅柱凸塊(Copper Pillar Bumps)等等的製程監控、良率與可靠度測試;3D IC堆疊後的良裸晶粒功能測試也可一併完成。

思達雙子星混合式自動測試設備,具備20個儀器模組的創新架構,可擴充且與外部儀器整合。其可配置的模組與儀器,茲分述如下:

(1) MPX044通道精密中度功率電源量測單元(Force-Measurement Unit, FMUs
                        多級別範圍精確電壓與電流輸出與量測單元,0.0V ~ ±100V ±0.1pA ~ ±200mA
(2) LPX4848獨立通道電壓與電流單元(Voltage-Current Unit, VIUs
                        獨立通道多級別範圍電壓與電流輸出與量測單元,-16V ~ +20V±0.1nA ~ ±50mA
(3) LSM4848通道低漏電開關矩陣器(Low-leakage Switch Matric, SWM
                        內含48獨立電源通道、4×48 0.1pA/V 低漏電通道與4獨立高頻寬1.0GHz通道 
(4) PDX9696個別通道參數量測單元(Parametric Measurement Units, PMUs
                        100MHz-1.0V ~ +5.5V個別參數量測單元,16MB 向量記憶參數的數位輸入與輸出源。
(5) 連結外部儀器
                        外部儀器可通過16 1.0GHz高頻通道與16個精密低漏電通道銜接內部系統。
                        測試軟體擁有超過100多種外部測試儀器的驅動程式。 

思達科技雙子星(STAr Gemini),是針對3D IC製程驗證與量產開發的自動測試設備。

思達雙子星自動測試設備,可搭載高達960個全矩陣低漏電通道,得以精準地量測微小訊號如微歐姆電阻(micro-ohm)、皮安培電流(pico-ampere)、飛法拉電容(femto-farad)等等。此系統也可搭載最高1920個參數量測單元通道,實現高複雜度的3D IC堆疊後的良裸晶粒功能測試。它同時具備高彈性配置,是容許高通道數的混合式自動測試設備,有效範圍涵蓋參數、可靠度與功能等測試,可滿足大多數3D IC製造與整合的完整功能性與可靠度的品質需求。

雙子星測試運作軟件是建構於已安裝超過600套的思達人馬座(STAr Sagittarius)整合測試軟件系統。其已經取得專利權的強化的功能,包含動態資源分配與智慧切換,使得單一量測系統能同時進行平行異步測試,和多個虛擬的測試配置 

思達科技執行長劉俊長博士表示:「雙子星自動測試設備是理想的多用途新款測試系統,可滿足參數、可靠度與功能等等的測試需求,勿需使用不同機台進行3D IC品質量測。此款基於客戶需求設計開發,高度可配置性與客制化的測試解決方案,能以最低品質測試成本,縮短3D IC的上市時間,達成time-to-market的效益。」