2014-09-03
 

201493日臺灣新竹発 -  半導体試験システムおよびプローブカード・メーカーであるSTAr Technologies, Inc.3DIC向けの試験装置STAr   Gemini   Automatic Test Equipment (ATE)を新たに発表しました。「STAr Gemini」はパラメーター、信頼性、KGD (Known Good Die)等の幅広い試験に対応する複合式半導体装置(ATE)であり、ハイブリッドな統合ソリューションの提供が可能です。

STAr Geminiでは、プロセス制御のモニタニングとSi貫通電極(through-silicon viaTSV)Siインターポーザ(Silicon Interposer)銅柱フリップバンプなどのパフォーマンス品質及び、3DICの貫通電極 (Stacking) KGD (Known Good Die)のテストも可能です。

(1) MPX04: 4チャンネル精密中度電源計測ユニット(FMUs

                                              マルチレンジ精度計測VIs of -100V~+100V and 0.1pA~200mA

(2) LPX48: 48チャンネルピンごとの電圧電流ユニット(VIUs

     マルチレンジVIs of -16V~+20V and 0.1nA~50mA  per channel

(3) LSM48: 48チャンネル低リークスイッチングマトリックス(SWM

      48チャンネル低リーク(0.1A/VVIUsFMUsのマトリックス切り替えスイッチ

(4) PDX96: 96チャンネルピンごとのパラメトリック測定ユニット(PMUs

      100MHz PMUf -1.0V~+5.5V, 16MBのベクトルメモリパラメトリックデジタルIOs

(5)  外部機器との接続:

      16広帯域幅(1.0GHz)チャンネルと16精密ケルビン3軸チャンネル

      100以上の機器のためソフトウエアドライブが用意されています

STAr Gemini」の仕様は業界で知られているATEシステムに展開します。「STAr Gemini」は、低コストでの測定及び、3D-IC技術開発のパラメーター、信頼性、ファンクションテストの時間短縮が可能です。20個の計測モジュールを有し、外部の計測器と確実に統合できます。そして、960個のフルマトリックス低リークチャネルまでの構成が可能で、マイクロオーム、ピコアンペア、フェムトファラッドなどの微少信号を正確に計測できます。さらに、100MHz 、96チャンネル(per-pin PMU)、3D-IC貫通電極の前(pre-bond)、中(mid-bond)、後(post-bond)などのKGD試験を実現できます。

STAr社はパートナー企業との提携で「STAr Gemini」のマイクロオーム抵抗測定機能を用いて、3D-IC製造テストおよび歩留まり分析中にKGIKnown Good Interposer)とKGSKnown Good Substrate)の検証を達成しました。検証中に「STAr Gemini」がインターポーザプロセスによる不安定2峰性の分布を正確に測定できました。一方、顧客もピコアンペア電流測定を用いてSi貫通電極プロセスの不安定性を発見、故障解析と照合し、プロセスの歩留まりと信頼性を向上させました。

STAr Gemini」は受注先の需要に基づき開発する半導体試験装置であり、複数の機能を備えたパラメーター、信頼性および機能などの測定ができます。これは間違いなく3D-ICsの検証に不可欠なATEになります。」とSTAr Technologies, Inc. CEO 俊良が語りました。

【スター・テクノロジーズ株式会社について】

STAr Technologiesは半導体向けのテストシステム、ソフトウェア、プローブカードなどのトータルテストソリューションを提供しています。具体的にはパラメトリック電気特性試験(E-test)、ウェハーレベル及びパッページレベル信頼性試験(WLRPLR)、アナログ/混合式半導体装(ATE)、プローブカード、テストロードボード及びICテストソケットなどです。20008月に設立したSTAr Technologies社は台湾新竹に本社をおき、米国、日本、韓国、シンガポール、中国、インドネシアに販売・サポート拠点を有します。